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光学元件的等离子体清洗技术

所属行业：新材料

合作方式：商议

发布日期：2026-03-23

意向价格：20万元

联系方式

成果描述: （1）模块化电极设计；（2）等离子体放电电极的优化设计及定制；（3）工作条件气压：20-100Pa；（4）等离子体发生均匀性＞80%；（5）等离子体表面覆盖率＞95%；（6）等离子处理元件温升＜70℃；（7）系统内部表面洁净度优于BJD 100-A/10级。